Watering Vacuum Pump
NDS만의 Watering Vacuum Pump
Water를 사용하여 진공을 생성하는 시스템으로 반도체 제조 공정 중 Dicing작업이나 PKG Saw작업 시 발생하는 오염물질의 혼입에도 사용될 수 있는 진공Pump System입니다.
NVP-5Hp
Used EAD6340 (Disco)
NVP-5Hpx2
Used EAD6750 (Disco)
NVP-7.5Hpx2
Used EAD6750 (Disco)SYSTEM 사양
| Model No | NVP-5Hp / NVP-5Hpx2 / NVP-7.5x2 |
|---|---|
| Pump Motor 사양 | 3.7Kw (5 Hp) / 3.7Kw (5 Hpx2) / 5.7Kw (7.5 Hpx2) |
| 전원사양 | 3-phase 220V 50/60Hz, 14.2A / 30A / 40A |
| Water 공급 | 3~5 Liter/Min. |
| Pump 흡입 유량 | max.1720 L/M(5Hp) / 2500 L/M(7.5Hp) |
| 설비 Size | 783mm(L) x 350mm(W) x 669mm(H)(5Hp Single) |
| 700mm(L) x 950mm(W) x 660mm(H)(5Hp Dual) 800mm(L) x 1060mm(W) x 700mm(H)(7.5Hp Dual) | |
| Weight | About 130Kg (5Hp) / 280Kg (5Hpx2) / 390Kg (7.5Hpx2) |
| Noise Level | 76dB(A) |
System 비교
Disco Pump (기존)
NDS Pump
System Comparison
| Pump Device | Saw-Pump pressure value | Saw-Image | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2 마력 | 4 마력 (2 마력 + 2 마력) | 5 마력 | 2 마력 | 4 마력 | 5 마력 | |
| 10DFN 3X3 | -46.4kpa | -85.4kpa | -90.3kpa |  |
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| 18QFN 2.5x2.5 | -59.8kpa | -90.3kpa | -94.0kpa |  |
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| 8DFN 2X2 | -65.9kpa | -86.6kpa | -92.7kpa |  |
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| 32QFN 5X5 | -87.9kpa | -90.6kpa | -94.0kpa |  |
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